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數(shù)碼型三目晶圓檢測(cè)顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)：DMM-5000D

一、晶圓檢測(cè)顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)儀器的主要用途和特點(diǎn)     DMM-5000晶圓檢測(cè)顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)采用優(yōu)質(zhì)的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，同時(shí)配備明暗場(chǎng)通用的長(zhǎng)工作距離平場(chǎng) 平場(chǎng)消色差物鏡，多光路的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可同時(shí)支持雙目鏡筒觀察和數(shù)碼攝像裝置觀察。DMM-5000倒置金相顯微鏡可廣泛應(yīng) 用于研究金屬的顯微組織，能在明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉下進(jìn)行觀察和攝影，配備專用軟件，更可同步進(jìn)行測(cè)量分析 ?？晒┭芯繂挝?、冶金、機(jī)械制造工廠以及高等工業(yè)院校進(jìn)行金屬學(xué)與熱處理、金屬物理學(xué)、煉鋼與鑄造過程等金相試驗(yàn) 研究之用。DMM-5000高級(jí)正置金相顯微鏡，選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件，配有超大視場(chǎng)目鏡、落射照明器、平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距 離明暗場(chǎng)物鏡，可選用微分干涉（DIC）觀測(cè)、獲得高清晰的圖像，使圖像襯度更好。是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、太陽能硅片 制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為高級(jí)工業(yè)金相顯微鏡使用?？蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛 用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。    DMM-5000D電腦型晶圓檢測(cè)顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)是將精銳的光學(xué)顯微鏡技術(shù)、先進(jìn)的光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、尖端的計(jì) 算機(jī)成像技術(shù)完美地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成功的一項(xiàng)高科技產(chǎn)品。既可人工觀察金相圖像,又可以在計(jì)算機(jī)顯示器上很方 便地適時(shí)觀察金相圖像，并可隨時(shí)捕捉記錄金相圖片,從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析,評(píng)級(jí)等,還可以保存或打印出高像素金相照 片。

二、晶圓檢測(cè)顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)儀器的主要技術(shù)指標(biāo) 金相顯微鏡組件及規(guī)格 光學(xué)系統(tǒng) 無窮遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) 主機(jī) DMM-5000倒置金相顯微鏡主機(jī) 目鏡 大視野 WF10X(Φ22mm) WF15X(Φ16mm) WF20X(Φ12mm) 平場(chǎng)分劃 10X/Φ20mm(0.10mm/格值) 物鏡 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差 （明暗場(chǎng)通用） 放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑 有效工作距離 PL5X/0.12 10 PLL10X/0.25 10 PLL20X/0.4 5 PLL50X/0.75 1.3 PL100X/0.9 0.7 目鏡筒 三目鏡 鉸鏈?zhǔn)剑瑑A斜45度，分光比：觀察80% 攝影20%；或觀察100% 攝影100% 濾片組 內(nèi)置轉(zhuǎn)盤式（綠色、藍(lán)色、黃色、灰色、毛玻璃） 物鏡轉(zhuǎn)換器 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器 調(diào)焦機(jī)構(gòu) 同軸粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu), 調(diào)焦范圍15mm 微動(dòng)格值2μm 行程（從載物臺(tái)表面焦點(diǎn)起）：向上1mm，向下7mm 載物臺(tái) 臺(tái)面尺寸：226mm*178mm 平臺(tái)壓片兩只 小平臺(tái)：水滴型、小孔、大孔各一 照明系統(tǒng) 落射照明15V50W，鹵素?zé)?，中心、亮度連續(xù)可調(diào) 機(jī)械移動(dòng)平臺(tái) 移動(dòng)范圍：40mm*40mm 微分干涉 可使用于5X、10X、20X、50X、100X   三、晶圓檢測(cè)顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)系統(tǒng)的組成 1、金相顯微鏡DMM-5000　　　　　　 　　　   2、數(shù)碼適配鏡 3、彩色數(shù)碼相機(jī)(CCD) 4、計(jì)算機(jī)（選購(gòu)）   四、晶圓檢測(cè)顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)選購(gòu)部分 1.金相分析軟件   五 、晶圓檢測(cè)顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)同類儀器的比較 1、DMM-5000C電腦微分干涉顯微鏡 2、DMM-5000D數(shù)碼微分干涉顯微鏡

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