大平臺暗場晶元檢測金相顯微鏡DMM-990C
一、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡DMM-990C的特點和用途:
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DMM-990C大平臺暗場晶元檢測顯微鏡可進行明視場、暗視場、偏光觀察。是針對半導(dǎo)體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析.大平臺晶元檢測顯微鏡DMM-990C具有圖像清晰、襯度好，造型美觀，操作方便等特點，是材料學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器。適用于學(xué)校、科研、工廠等部門使用。
DMM-990C大平臺暗場晶元檢測顯微鏡性能特點
1、配置大視野目鏡和無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)，視場大而清晰。
2、粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值:2μm。
3、6V30W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。
4、三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察，偏振片可360度旋轉(zhuǎn).
5、三層大移動范圍的載物臺，移動范圍:8"×8"(204mm×204mm）
6、高像素數(shù)字成像系統(tǒng)，電腦顯示成像真實清晰
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二、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡DMM-990C的技術(shù)參數(shù):
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規(guī)格
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技術(shù)參數(shù)
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目鏡
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WF10X超大視野目鏡,視場Φ22mm WF20X/22mm 分劃 10X(Φ22mm),格
值0.1mm/格
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長工作距離無限遠平場消色差物鏡
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無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PL 5X/0.12 WD:26.1mm
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無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PLL10X/0.25 WD:20.2mm
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無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PL L20X/0.40 WD:8.8mm
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無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PL L50X/0.70 WD:3.68mm
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無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PL L80X/0.80 WD:1.25mm
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目鏡筒
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鉸鏈?zhǔn)饺跨R,傾斜30?,內(nèi)置檢偏振片,可進行切換 ，屈光度±5可調(diào)
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落射照明系統(tǒng)
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6V 30W鹵素?zé)?/span>,亮度可調(diào)
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落射照明器帶 (黃,藍,綠)濾色片和磨砂玻璃
視場光欄和孔徑光欄大小可調(diào)節(jié)，可插入式起偏振片，可進行偏光觀察和攝影
起偏和檢偏均可移出光路,偏光觀察時,偏振片可360度旋轉(zhuǎn)
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調(diào)焦機構(gòu)
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粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
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轉(zhuǎn)換器
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五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位)
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載物臺
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三層機械移動式(尺寸:280mmX270mm,移動范圍:204mmX204mm
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攝像系統(tǒng)
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1X攝影接口，標(biāo)準(zhǔn)C接口
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300萬數(shù)字成像系統(tǒng)，最高分辨率：2048X1536，最新升級數(shù)字攝像模塊，采用USB供電，功耗小，連接簡單：USB2.0 圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定，可進行圖像大小調(diào)節(jié),色彩調(diào)節(jié),增益調(diào)節(jié),曝光設(shè)置,自動曝光等調(diào)節(jié)。
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三、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡DMM-990C的系統(tǒng)組成
1、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡主機 2、電腦適配鏡
3、300萬像素彩色數(shù)字攝像器 4、計算機(選購)
四、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡DMM-990C可選購部分
1、16X、大視野平場目鏡 2、測微尺
3、數(shù)碼成像系統(tǒng) 4、DS-3000二維定倍測量軟件 |
